(19)
(11) EP 1 198 699 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.04.2002  Patentblatt  2002/17

(21) Anmeldenummer: 01947197.8

(22) Anmeldetag:  07.06.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01K 7/02, G01J 5/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0102/145
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0204/905 (17.01.2002 Gazette  2002/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 11.07.2000 DE 10033589

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • PANNEK, Thorsten
    70176 Stuttgart (DE)
  • TRAH, Hans-Peter
    70195 Stuttgart (DE)

   


(54) MIKROSTRUKTURIERTER THERMOSENSOR