(19)

(11)

EP 1 198 838 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.04.2002  Patentblatt  2002/17 (21) Anmeldenummer: 00958220.6 (22) Anmeldetag:  03.08.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0002/599 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0111/684 (15.02.2001 Gazette  2001/07)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 04.08.1999 DE 19936636 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: GOSSNER, Harald D-85521 Riemerling (DE) (74) Vertreter: Bickel, Michael  Westphal & PartnerMozartstrasse 8 80336 München 80336 München (DE)