(19)

(11)

EP 1 198 839 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.04.2002  Patentblatt  2002/17 (21) Anmeldenummer: 00947800.9 (22) Anmeldetag:  14.06.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/08, H01L 29/732 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0001/954 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0103/193 (11.01.2001 Gazette  2001/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 03.07.1999 DE 19930783 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: PLIKAT, Robert D-72800 Eningen (DE)