(19)

(11)

EP 1 198 850 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 03.05.2001 (43) Veröffentlichungstag: 24.04.2002  Patentblatt  2002/17 (21) Anmeldenummer: 00941926.8 (22) Anmeldetag:  24.05.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/083, H01L 41/053 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0001/671 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0079/606 (28.12.2000 Gazette  2000/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 19.06.1999 DE 19928185 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: STOECKLEIN, Wolfgang D-70197 Stuttgart (DE) BOECKING, Friedrich D-70499 Stuttgart (DE)