VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES HERSTELLUNGSPROZESSES ZUR BEARBEITUNG EINES SUBSTRATS IN DER HALBLEITERFERTIGUNG - Patent 1200982

(19)

(11)

EP 1 200 982 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	02.05.2002 Patentblatt 2002/18

(21)	Anmeldenummer: 99952378.0

(22)	Anmeldetag: 12.08.1999

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01J 37/32, H01L 21/66

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE9902/526

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0113/401 (22.02.2001 Gazette 2001/08)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(71)	Anmelder: Infineon Technologies AG
	81669 München (DE)

(72)	Erfinder:
	BELL, Ferdinand D-80337 München (DE)

(74)	Vertreter: Kindermann, Peter
	Kindermann PatentanwaltPostfach 1330 85627 Grasbrunn 85627 Grasbrunn (DE)

(54)	VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES HERSTELLUNGSPROZESSES ZUR BEARBEITUNG EINES SUBSTRATS IN DER HALBLEITERFERTIGUNG