(19)
(11) EP 1 200 984 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
06.12.2001

(43) Veröffentlichungstag:
02.05.2002  Patentblatt  2002/18

(21) Anmeldenummer: 00956226.5

(22) Anmeldetag:  20.07.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 49/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0006/956
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0108/196 (01.02.2001 Gazette  2001/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 21.07.1999 DE 19934173

(71) Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderungder Wissenschaften e.V.
80539 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GEBHARDT, Christoph
    80801 München (DE)
  • SCHRÖDER, Hartmut
    80805 München (DE)

(74) Vertreter: Hertz, Oliver, Dr. 
v. Bezold & Sozien,Akademiestrasse 7
80799 München
80799 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR CLUSTERFRAGMENTATION