(19)
(11) EP 1 201 928 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
16.04.2003  Patentblatt  2003/16

(43) Veröffentlichungstag A2:
02.05.2002  Patentblatt  2002/18

(21) Anmeldenummer: 01122335.1

(22) Anmeldetag:  19.09.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 19/04, F04D 29/32, F04D 29/54
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 24.10.2000 DE 10052637

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Stoll, Tobias
    35719 Angelburg-Gönnern (DE)

   


(54) Scheiben für eine Turbomolekularpumpe


(57) Die Erfindung stellt Scheiben (1) für Turbomolekularpumpen vor, die aus einzelnen Teilscheiben (11, 12) bestehen. Diese Teilscheiben sind als Blechkörper ausgebildet, wobei die Schaufeln (31, 32) durch Stanzen und anschließendes Herausdrehen aus der Scheibenebene gebildet wurden. Die Teilscheiben werden so zusammengefügt, dass diese durch die Schaufeln (31, 32) und Schlitze (41, 42) eine gasfördernde Struktur mit optischer Dichtheit bilden.






Recherchenbericht