(19)

(11)

EP 1 203 403 A1

(12)

(43) Date de publication: 08.05.2002  Bulletin  2002/19 (21) Numéro de dépôt: 00956612.6 (22) Date de dépôt:  03.08.2000

(51) Int. Cl.7: H01L 21/20, H01L 21/762 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0002/239 (87) Numéro de publication internationale: WO 0111/667 (15.02.2001 Gazette  2001/07)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 04.08.1999 FR 9910121 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeurs: LAGAHE, Chrystelle F-38340 Voreppe (FR) SOUBIE, Alain F-38120 Saint-Egreve (FR) BRUEL, Michel F-38113 Veurey (FR) ASPAR, Bernard F-38140 Rives (FR) (74) Mandataire: Weber, Etienne Nicolas et al c/o Brevalex,3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)