(19)
(11) EP 1 203 404 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.05.2002  Patentblatt  2002/19

(21) Anmeldenummer: 00956166.3

(22) Anmeldetag:  05.07.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/311
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0006/314
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0109/935 (08.02.2001 Gazette  2001/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 28.07.1999 DE 19935446

(71) Anmelder: MERCK PATENT GmbH
64293 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • ZIELINSKI, Claudia
    D-64291 Darmstadt (DE)
  • RHEIN, Rudolf
    D-64646 Heppenheim (DE)
  • TEMPEL, Eberhard
    D-64342 Seeheim-Jugenheim (DE)

   


(54) ÄTZLÖSUNG, FLUSSSÄURE ENTHALTEND