(19)
(11) EP 1 210 635 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.03.2002

(43) Veröffentlichungstag:
05.06.2002  Patentblatt  2002/23

(21) Anmeldenummer: 01909450.7

(22) Anmeldetag:  11.01.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/086
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0159/431 (16.08.2001 Gazette  2001/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 10.02.2000 DE 10005852

(71) Anmelder: Nano Focus Messtechnik GmbH
47057 Duisburg (DE)

(72) Erfinder:
  • VALENTIN, Jürgen
    47057 Duisburg (DE)
  • JORDAN, Joachim
    41334 Nettetal-Kaldenkirchen (DE)
  • SCHREIER, Hans-Hermann
    26131 Oldenburg (DE)

(74) Vertreter: Röther, Peter, Dipl.-Phys. 
PatentanwaltVor dem Tore 16a
47279 Duisburg
47279 Duisburg (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON HÖHENBILDERN TECHNISCHER OBERFLÄCHEN IN MIKROSKOPISCHER AUFLÖSUNG