(19)
(11) EP 1 210 850 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.06.2002  Patentblatt  2002/23

(21) Anmeldenummer: 00965804.8

(22) Anmeldetag:  31.08.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H05K 3/00, B23K 26/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0002/980
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0119/146 (15.03.2001 Gazette  2001/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 06.09.1999 DE 19942452

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • STEUR, Hubert
    B-9031 Drongen (BE)
  • HEERMAN, Marcel
    B-9200 Merelbeke (BE)
  • ROELANTS, Eddy
    B-8000 Bruegge (BE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BEARBEITEN VON MEHRSCHICHTSUBSTRATEN