(19)
(11)
EP 1 210 850 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
05.06.2002
Patentblatt 2002/23
(21)
Anmeldenummer:
00965804.8
(22)
Anmeldetag:
31.08.2000
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
H05K
3/00
,
B23K
26/00
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0002/980
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0119/146
(
15.03.2001
Gazette 2001/11)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
(30)
Priorität:
06.09.1999
DE 19942452
(71)
Anmelder:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
STEUR, Hubert
B-9031 Drongen (BE)
HEERMAN, Marcel
B-9200 Merelbeke (BE)
ROELANTS, Eddy
B-8000 Bruegge (BE)
(54)
VERFAHREN ZUM BEARBEITEN VON MEHRSCHICHTSUBSTRATEN