(19)
(11) EP 1 213 372 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
04.02.2004  Patentblatt  2004/06

(43) Veröffentlichungstag A2:
12.06.2002  Patentblatt  2002/24

(21) Anmeldenummer: 01128897.4

(22) Anmeldetag:  05.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C25D 5/18, C25D 17/12, C25D 7/00, C25D 21/00, C25D 21/18
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 07.12.2000 DE 10061186

(71) Anmelder: Astrium GmbH
81663 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Ewald, Rüdiger
    92339 Beilngries (DE)
  • Filke, Peter
    85614 Kirchseeon (DE)
  • Heckmann, Michael
    85643 Steinhöring (DE)
  • Keinath, Wolfgang
    85653 Höhenkirchen-Siegertsbrunn (DE)
  • Langel, Günter
    81827 München (DE)
  • Schmidt, Anton
    83370 Seeon (DE)

(74) Vertreter: Ulrich, Thomas et al
EADS Deutschland GmbH, LG-PM - Patente
81663 München
81663 München (DE)

   


(54) Verfahren und Anordnung zur galvanischen Abscheidung von Nickel, Kobalt, Nickellegierungen oder Kobaltlegierungen mit periodischen Strompulsen und Verwendung des Verfahrens


(57) Beschrieben wird ein Verfahren zur galvanischen Abscheidung von Nickel, Kobalt, Nickellegierungen oder Kobaltlegierungen in einem galvanischen Bad (1) unter Verwendung eines Nickelverbindungen oder Kobaltverbindungen enthaltenden Elektrolyten, wobei zur Abscheidung mindestens eine Anode (3,3a,3b) und mindestens eine Kathode des Bades (1) mit periodischen Strompulsen (Pulse Plating) beaufschlagt wird. Das Verhältnis IA/IC aus Anodenstromdichte IA zu Kathodenstromdichte IC wird dazu größer als 1 und kleiner als 1,5 gewählt, und das Ladungsverhältnis QA/QC=(TA·IA)/(TC·IC) der während eines Anodenpulses der Dauer TA transportierten Ladung QA zu der während eines Kathodenpulses der Dauer TC transportierten Ladung QC beträgt zwischen 30 und 45. Ein Bad zur Durchführung des Verfahrens weist insbesondere konturierte Anoden (3,3a,3b), Stromblenden (5), eine Reinigungseinrichtung (6) für den Elektrolyten und eine Umwälzeinrichtung (13) mit einer Rückführung des Elektrolyten durch Düsen (7) auf.






Recherchenbericht