(19)
(11) EP 1 217 635 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.09.2004  Patentblatt  2004/38

(43) Veröffentlichungstag A2:
26.06.2002  Patentblatt  2002/26

(21) Anmeldenummer: 01126269.8

(22) Anmeldetag:  06.11.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01C 7/00, G01K 7/18
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 22.12.2000 DE 10064461

(71) Anmelder: Heraeus Electro-Nite International N.V.
3530 Houthalen (BE)

(72) Erfinder:
  • Wienand, Karlheinz, Dr.
    63741 Aschaffenburg (DE)
  • Turwitt, Martin, Dr.
    63486 Bruchköbel (DE)
  • Loose, Thomas
    63589 Linsengericht (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
Heraeus Holding GmbH, Schutzrechte, Heraeusstrasse 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) Elektrischer Widerstand mit Platinmetall oder einer Platinmetallverbindung sowie Sensoranordnung


(57) Ein elektrischer Widerstand (6) weist eine Platin oder ein Platingruppenmetall enthaltende Widerstandsschicht auf, die auf einer elektrisch isolierenden Oberfläche eines Substrats (4) aufgebracht ist, wobei die Widerstandsschicht als Dünnschicht-Element ausgebildet ist und eine physikalische Mischung aus feindispergierter Keramik und Metall aufweist; vorzugsweise liegt das Verhältnis von feindispergierter Keramik zu Metall in Gewichts-% im Bereich von 5 bis 50%.
Als feindispergierte Keramik wird vorzugsweise SiO, SiO2, Ta2O5, MgO, Al2O3, oder eine Mischung daraus eingesetzt.
Der erfindungsgemäße Widerstand wird als Referenz-Widerstand (6) in einem Sensor (Temperatur-Sensor) zusammen mit einem temperaturabhängigen Messwiderstand (5) eingesetzt, wobei beide Widerstände auf einem gemeinsamen Substrat (4) angeordnet sind.






Recherchenbericht