(19)
(11) EP 1 218 799 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.07.2002  Patentblatt  2002/27

(21) Anmeldenummer: 00964148.1

(22) Anmeldetag:  08.09.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 1/00, G03F 1/14
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0008/791
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0120/399 (22.03.2001 Gazette  2001/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 16.09.1999 DE 19944474

(71) Anmelder: Leica Microsystems Semiconductor GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • STACH, Gerd
    35625 Huettenberg (DE)
  • STRUCK, Thomas
    82140 Olching (DE)

(74) Vertreter: Bickel, Michael 
Westphal & PartnerMozartstrasse 8
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) ABSCHIRMUNG ÄUSSERER ANREGUNGEN BEI DER VERMESSUNG SCHWINGUNGSFÄHIGER HALBLEITERMEMBRANEN