(19)
(11)
EP 1 220 739 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
10.07.2002
Patentblatt 2002/28
(21)
Anmeldenummer:
00972741.3
(22)
Anmeldetag:
12.10.2000
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
B28D
5/00
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0010/036
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0128/745
(
26.04.2001
Gazette 2001/17)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI
(30)
Priorität:
16.10.1999
DE 19950068
(71)
Anmelder:
ACR AUTOMATION IN CLEANROOM GmbH
D-78078 Niedereschach (DE)
(72)
Erfinder:
GENTISCHER, Josef
73630 Remshalden (DE)
(74)
Vertreter:
Fuhlendorf, Jörn, Dipl.-Ing. et al
PatentanwälteDreiss, Fuhlendorf, Steimle & Becker,Gerokstrasse 1
70188 Stuttgart
70188 Stuttgart (DE)
(54)
VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM VEREINZELN VON SCHEIBENFÖRMIGEN SUBSTRATEN