(19)
(11) EP 1 220 739 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.07.2002  Patentblatt  2002/28

(21) Anmeldenummer: 00972741.3

(22) Anmeldetag:  12.10.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7B28D 5/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0010/036
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0128/745 (26.04.2001 Gazette  2001/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 16.10.1999 DE 19950068

(71) Anmelder: ACR AUTOMATION IN CLEANROOM GmbH
D-78078 Niedereschach (DE)

(72) Erfinder:
  • GENTISCHER, Josef
    73630 Remshalden (DE)

(74) Vertreter: Fuhlendorf, Jörn, Dipl.-Ing. et al
PatentanwälteDreiss, Fuhlendorf, Steimle & Becker,Gerokstrasse 1
70188 Stuttgart
70188 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM VEREINZELN VON SCHEIBENFÖRMIGEN SUBSTRATEN