(19)
(11) EP 1 222 143 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.07.2002  Patentblatt  2002/29

(21) Anmeldenummer: 01940181.9

(22) Anmeldetag:  20.04.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 3/00, B81C 1/00, G01L 9/00, H01L 21/306
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/516
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0202/458 (10.01.2002 Gazette  2002/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 05.07.2000 DE 10032579

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BENZEL, Hubert
    72124 Pliezhausen (DE)
  • WEBER, Heribert
    72622 Nuertingen (DE)
  • ARTMANN, Hans
    71106 Magstadt (DE)
  • SCHAEFER, Frank
    72070 Tuebingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS SOWIE EIN NACH DEM VERFAHREN HERGESTELLTES HALBLEITERBAUELEMENT