(19)

(11)

EP 1 222 319 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.07.2002  Patentblatt  2002/29 (21) Anmeldenummer: 99941628.2 (22) Anmeldetag:  16.08.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 22/53 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9905/995 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0112/877 (22.02.2001 Gazette  2001/08)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (71) Anmelder: Walter Hillebrand GmbH & Co. 58739 Wickede/Ruhr (DE)	(72) Erfinder: HILLEBRAND, Ernst-Walter D-58739 Wickede/Ruhr (DE) (74) Vertreter: König, Gregor Sebastian, Dipl.-Biol. et al König - Palgen - Schumacher - KluinPatentanwälteLohengrinstrasse 11 40549 Düsseldorf 40549 Düsseldorf (DE)