(19)
(11) EP 1 222 682 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.07.2002  Patentblatt  2002/29

(21) Anmeldenummer: 00967848.3

(22) Anmeldetag:  10.10.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0009/911
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0131/690 (03.05.2001 Gazette  2001/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 22.10.1999 DE 19951200

(71) Anmelder: Ortner CLS GmbH Cleanroom Logistic System
01109 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • JARNIG, Hubert
    A-9062 Moosburg (AT)

(74) Vertreter: Becker, Thomas U., Dr. et al
Patentanwälte Dr. Becker & Dr. Müller, Berkenbrink,Turmstrasse 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) TRANSPORTVORRICHTUNG