(19)

(11)

EP 1 222 697 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 27.12.2001 (43) Veröffentlichungstag: 17.07.2002  Patentblatt  2002/29 (21) Anmeldenummer: 00975771.7 (22) Anmeldetag:  16.09.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/09, H01L 41/053, F02M 59/46, F16K 31/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0003/225 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0124/288 (05.04.2001 Gazette  2001/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 30.09.1999 DE 19946839 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: BOECKING, Friedrich 70499 Stuttgart (DE)