GENERATION D'UN BROUILLARD DENSE DE GOUTTELETTES MICROMETRIQUES NOTAMMENT POUR LA LITHOGRAPHIE A UV EXTREME - Patent 1222842

(19)

(11)

EP 1 222 842 A1

(12)

(43)	Date de publication:
	17.07.2002 Bulletin 2002/29

(21)	Numéro de dépôt: 00968058.8

(22)	Date de dépôt: 17.10.2000

(51)	Int. Cl.⁷: H05G 2/00

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR0002/890

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 0130/122 (26.04.2001 Gazette 2001/17)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK RO SI

(30)

Priorité:

18.10.1999 FR 9912949

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	75752 Paris Cédex 15 (FR)

(72)	Inventeurs:
	SCHMIDT, Martin F-92170 Vanves (FR) SUBLEMONTIER, Olivier F-92260 Fontenay aux Roses (FR)

(74)	Mandataire: Weber, Etienne Nicolas et al
	c/o Brevatome,3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	GENERATION D'UN BROUILLARD DENSE DE GOUTTELETTES MICROMETRIQUES NOTAMMENT POUR LA LITHOGRAPHIE A UV EXTREME