(19)

(11)

EP 1 224 695 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 28.02.2002 (43) Veröffentlichungstag: 24.07.2002  Patentblatt  2002/30 (21) Anmeldenummer: 00979480.1 (22) Anmeldetag:  29.09.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/324 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0009/534 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0131/698 (03.05.2001 Gazette  2001/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 28.10.1999 DE 19952015 (71) Anmelder: STEAG RTP Systems GmbH 89160 Dornstadt (DE)	(72) Erfinder: PELZMANN, Arthur 89312 Günzburg (DE) (74) Vertreter: Wagner & Geyer  Gewürzmühlstrasse 5 D-80538 München D-80538 München (DE)