(19)
(11)
EP 1 226 614 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
31.07.2002
Patentblatt 2002/31
(21)
Anmeldenummer:
00972619.1
(22)
Anmeldetag:
10.10.2000
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
H01L
41/083
,
H01L
41/047
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0003/546
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0131/713
(
03.05.2001
Gazette 2001/18)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
(30)
Priorität:
22.10.1999
DE 19951016
(71)
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)
(72)
Erfinder:
SCHULTE, Thomas
70376 Stuttgart (DE)
HAMMER, Marianne
70563 Stuttgart (DE)
LINDNER, Friederike
D-70839 Gerlingen (DE)
(54)
PIEZOELEKTRISCHER VIELSCHICHTAKTOR MIT KERAMISCHEN INNENELEKTRODEN