(19)
(11) EP 1 226 614 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.07.2002  Patentblatt  2002/31

(21) Anmeldenummer: 00972619.1

(22) Anmeldetag:  10.10.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 41/083, H01L 41/047
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0003/546
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0131/713 (03.05.2001 Gazette  2001/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 22.10.1999 DE 19951016

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHULTE, Thomas
    70376 Stuttgart (DE)
  • HAMMER, Marianne
    70563 Stuttgart (DE)
  • LINDNER, Friederike
    D-70839 Gerlingen (DE)

   


(54) PIEZOELEKTRISCHER VIELSCHICHTAKTOR MIT KERAMISCHEN INNENELEKTRODEN