(57) Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere Mikropumpe für
polare Fluide, mit einem Substrat (50, 60, 70; 70'); mindestens zwei in dem Substrat(50,
60, 70; 70') vorgesehenen Strömungskanälen (10, 10'; 10, 10', 11, 12, 12'; 80; 80'),
welche aus einem gemeinsamen Eingangsbereich (5) abgezweigt sind; wobei der Eingangsbereich
eine Verzweigung mit einer Spitze (P; P1, P2) aufweist, an der sich die Innenwandungen
(7; 7') der Strömungskanäle (10, 10'; 10, 10', 11, 12, 12'; 80; 80') teilen; einer
ersten Elektrode (20; 20a, 20b) zum Anlegen eines ersten elektrischen Potentials an
die Innenwandungen (7; 7') der Strömungskanäle (10, 10'; 10, 10', 11, 12, 12'; 80;
80'); und einer zweiten Elektrode (10) zum Anlegen eines zweiten elektrischen Potentials
an die Außenwandungen (8; 8') der Strömungskanäle (10, 10'; 10, 10', 11, 12, 12';
80; 80').
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