(19)
(11) EP 1 230 414 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.08.2002  Patentblatt  2002/33

(21) Anmeldenummer: 00926739.4

(22) Anmeldetag:  17.03.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 4/12, C23C 16/513, B05D 1/08
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0002/401
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0132/949 (10.05.2001 Gazette  2001/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 30.10.1999 DE 29919142 U

(71) Anmelder:
  • Agrodyn Hochspannungstechnik GmbH
    33803 Steinhagen (DE)
  • Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V.
    80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FÖRNSEL, Peter
    D-32139 Spenge (DE)
  • BUSKE, Christian
    D-33803 Steinhagen (DE)
  • HARTMANN, Uwe
    D-32805 Horn-Bad Meinberg (DE)
  • BAALMANN, Alfred
    D-27711 Osterholz (DE)
  • ELLINGHORST, Guido
    D-28355 Bremen (DE)
  • VISSING, Klaus-D.
    D-27321 Morsum (DE)

(74) Vertreter: Wiebusch, Manfred 
TER MEER STEINMEISTER & PARTNER GbR,Patentanwälte,Artur-Ladebeck-Strasse 51
33617 Bielefeld
33617 Bielefeld (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMABESCHICHTUNG VON OBERFLÄCHEN