(19)

(11)

EP 1 230 415 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 14.08.2002  Patentblatt  2002/33 (21) Anmeldenummer: 00962293.7 (22) Anmeldetag:  04.08.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 8/30, C23C 8/32 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0007/576 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0114/611 (01.03.2001 Gazette  2001/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 25.08.1999 DE 19940370 (71) Anmelder: MESSER GRIESHEIM GMBH 60547 Frankfurt (DE)	(72) Erfinder: SCHMIDT, Hans-Peter 40822 Mettmann (DE)