(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE |
(30) |
Priorität: |
26.11.1999 DE 29920738 U
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(71) |
Anmelder: Leybold Vakuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- BOY, Hermann
D-50171 Kerpen (DE)
- FELDE, Klaus
D-50969 Köln (DE)
- HÖLZER, Rainer
D-50354 Hürth (DE)
- LAERBUSCH, Martin
D-52223 Stolberg (DE)
- WAGES, Lothar
D-50996 Köln (DE)
- STEININGER, Michael
D-65193 Wiesbaden (DE)
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(74) |
Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. et al |
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Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE) |
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