(19)
(11) EP 1 232 521 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
13.12.2001

(43) Date de publication:
21.08.2002  Bulletin  2002/34

(21) Numéro de dépôt: 00985333.4

(22) Date de dépôt:  27.11.2000
(51) Int. Cl.7: H01L 21/28, H01L 29/04
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR0003/304
(87) Numéro de publication internationale:
WO 0103/9257 (31.05.2001 Gazette  2001/22)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorité: 25.11.1999 FR 9914846

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
75752 Paris Cédex 15 (FR)

(72) Inventeurs:
  • Amy, Fabrice
    78570 Andresy (FR)
  • Brylinski, Christian
    92200 Neuilly sur Seine (FR)
  • Dujardin, Gérald
    92290 Chatenay Malabry (FR)
  • Enriquez, Hanna
    75013 Paris (FR)
  • Mayne, Andrew
    92160 Antony (FR)
  • Soukiassian, Patrick
    78470 Saint Remy les Chevreuse (FR)

(74) Mandataire: Weber, Etienne Nicolas et al
c/o Brevatome,3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) COUCHE DE SILICIUM TRES SENSIBLE A L'OXYGENE ET PROCEDE D'OBTENTION DE CETTE COUCHE