(19)
(11) EP 1 234 323 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.02.2002

(43) Veröffentlichungstag:
28.08.2002  Patentblatt  2002/35

(21) Anmeldenummer: 00993283.1

(22) Anmeldetag:  01.12.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0012/103
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/0884 (07.06.2001 Gazette  2001/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 02.12.1999 DE 19958082

(71) Anmelder: Logitex Reinstmedientechnik GmbH
85778 Haimhausen (DE)

(72) Erfinder:
  • LEITNER, Hans
    A-9523 Landskron (AT)
  • KOLLMER, Xaver
    85417 Merzling (DE)
  • SCHINDLER, Günther
    85778 Haimhausen (DE)
  • FRISCH, Ernst, Georg
    82143 München (DE)

(74) Vertreter: Barske, Heiko, Dr. rer. nat. et al
Blumbach, Kramer & Partner GbR,Radeckestrasse 43
81245 München
81245 München (DE)

   


(54) ÜBERWACHUNGSSYSTEM FÜR EINE TRANSPORTVORRICHTUNG VON FLACHTEILEN, INSBESONDERE WAFER-SCHEIBEN