(19)
(11) EP 1 236 220 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
20.02.2013  Patentblatt  2013/08

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
02.01.2013  Patentblatt  2013/01

(21) Anmeldenummer: 00979638.4

(22) Anmeldetag:  29.11.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/28(2006.01)
 H01J 37/244(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2000/011948
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2001/041180 (07.06.2001 Gazette  2001/23)

(54)

DETEKTOR FÜR EIN RASTERELEKTRONENMIKROSKOP MIT VARIABLEM DRUCK UND RASTERELEKTRONENMIKROSKOP MIT EINEM SOLCHEN DETEKTOR

DETECTOR FOR A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE WITH VARIABLE PRESSURE AND A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE COMPRISING SUCH A DETECTOR

DETECTEUR POUR MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE A PRESSION VARIABLE ET MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE COMPRENANT UN TEL DETECTEUR

(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE GB NL

(30) Priorität: 29.11.1999 DE 19957422

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
04.09.2002  Patentblatt  2002/36

(73) Patentinhaber: Carl Zeiss Microscopy GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • ESSERS, Erik
    73430 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Gnatzig, Klaus et al
Carl Zeiss Patentabteilung
73446 Oberkochen
73446 Oberkochen (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
WO-A-98/40906
 WO-A-99/27559
   
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 015, no. 036 (E-1027), 29. Januar 1991 (1991-01-29) & JP 02 273445 A (NIKON CORP), 7. November 1990 (1990-11-07) in der Anmeldung erwähnt
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).