(19)

(11)

EP 1 238 409 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.09.2002  Patentblatt  2002/37 (21) Anmeldenummer: 00964220.8 (22) Anmeldetag:  21.09.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0009/249 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0102/7973 (19.04.2001 Gazette  2001/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 08.10.1999 DE 19948630 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: BAKER, KeithMattson Wet Products GmbH 72124 Pliezhausen (DE) BELLOEUF, Eddy 72764 Reutlingen (DE) (74) Vertreter: Wagner & Geyer  Gewürzmühlstrasse 5 D-80538 München D-80538 München (DE)