(19)
(11)
EP 1 238 410 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
11.09.2002
Patentblatt 2002/37
(21)
Anmeldenummer:
00981319.7
(22)
Anmeldetag:
29.11.2000
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
H01L
21/00
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0011/955
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/1193
(
07.06.2001
Gazette 2001/23)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
(30)
Priorität:
01.12.1999
DE 19957758
(71)
Anmelder:
STEAG RTP Systems GmbH
89160 Dornstadt (DE)
(72)
Erfinder:
GRAF, Ottmar
88368 Bergatreute (DE)
MANTZ, Paul
89584 Ehingen (DE)
(74)
Vertreter:
Wagner & Geyer
Gewürzmühlstrasse 5
D-80538 München
D-80538 München (DE)
(54)
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUSRICHTEN VON SCHEIBENFÖRMIGEN SUBSTRATEN