(19)
(11) EP 1 238 410 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.09.2002  Patentblatt  2002/37

(21) Anmeldenummer: 00981319.7

(22) Anmeldetag:  29.11.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0011/955
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/1193 (07.06.2001 Gazette  2001/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 01.12.1999 DE 19957758

(71) Anmelder: STEAG RTP Systems GmbH
89160 Dornstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • GRAF, Ottmar
    88368 Bergatreute (DE)
  • MANTZ, Paul
    89584 Ehingen (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Gewürzmühlstrasse 5
D-80538 München
D-80538 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUSRICHTEN VON SCHEIBENFÖRMIGEN SUBSTRATEN