PROCEDE DE FABRICATION D'ILOTS JUXTAPOSES PAR DEPOT AUTOORGANISE SUR UN SUBSTRAT ET STRUCTURE AINSI OBTENUE - Patent 1238413

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EP 1 238 413 A1

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(43)	Date de publication:
	11.09.2002 Bulletin 2002/37

(21)	Numéro de dépôt: 01974416.8

(22)	Date de dépôt: 01.10.2001

(51)	Int. Cl.⁷: H01L 21/20, H01L 29/15

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR0103/026

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 0202/9871 (11.04.2002 Gazette 2002/15)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

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Priorité:

02.10.2000 FR 0012505

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	75752 Paris Cédex 15 (FR)

(72)	Inventeurs:
	MARTROU, David F-38000 Grenoble (FR) MAGNEA, No F-38430 Moirans (FR)

(74)	Mandataire: Brykman, Georges et al
	c/o BREVATOME3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	PROCEDE DE FABRICATION D'ILOTS JUXTAPOSES PAR DEPOT AUTOORGANISE SUR UN SUBSTRAT ET STRUCTURE AINSI OBTENUE