(19)
(11) EP 1 240 505 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.01.2002

(43) Veröffentlichungstag:
18.09.2002  Patentblatt  2002/38

(21) Anmeldenummer: 00972908.8

(22) Anmeldetag:  13.11.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01N 23/20, G01N 23/207
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0011/207
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/6677 (28.06.2001 Gazette  2001/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 22.12.1999 DE 19962198

(71) Anmelder:
  • Max-Planck-Gesellschaft zur Förderungder Wissenschaften e.V.
    80539 München (DE)
  • Bestec GmbH
    12489 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • BIEDERMANN, C.Max-Planck-Inst. Plasmaphysik
    10117 Berlin (DE)
  • RADTKE, RainerMax-Planck-Inst. Plasmaphysik
    10117 Berlin (DE)
  • DEUCHLER, Simon
    12489 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Hertz, Oliver, Dr. et al
v. Bezold & Sozien,Akademiestrasse 7
80799 München
80799 München (DE)

   


(54) BESTRAHLUNGSEINRICHTUNG MIT EINEM HOCHFLEXIBLEN MEMBRANBALG