DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE UTILISANT UNE SOURCE DE RAYONNEMENT DANS LE DOMAINE EXTREME ULTRAVIOLET ET DES MIROIRS MULTICOUCHES A LARGE BANDE SPECTRALE DANS CE DOMAINE - Patent 1240551

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EP 1 240 551 A2

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(88)	Date de publication A3:
	27.12.2001

(43)	Date de publication:
	18.09.2002 Bulletin 2002/38

(21)	Numéro de dépôt: 00988892.6

(22)	Date de dépôt: 07.12.2000

(51)	Int. Cl.⁷: G03F 1/14, G03F 7/20, H05G 2/00, G21K 1/06, G02B 5/08

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR0003/429

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 0104/2855 (14.06.2001 Gazette 2001/24)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorité:

08.12.1999 FR 9915470

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	75752 Paris Cédex 15 (FR)

(72)	Inventeurs:
	BABONNEAU, Danièle F-91390 Morsang S/Orge (FR) MARMORET, Rémy F-78320 Levis Saint Nom (FR) BONNET, Laurence F-91310 Linas (FR)

(74)	Mandataire: Poulin, Gérard et al
	Société BREVATOME3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE UTILISANT UNE SOURCE DE RAYONNEMENT DANS LE DOMAINE EXTREME ULTRAVIOLET ET DES MIROIRS MULTICOUCHES A LARGE BANDE SPECTRALE DANS CE DOMAINE