(19)

(11)

EP 1 240 663 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 18.04.2002 (43) Veröffentlichungstag: 18.09.2002  Patentblatt  2002/38 (21) Anmeldenummer: 00990686.8 (22) Anmeldetag:  08.12.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0012/429 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0104/6996 (28.06.2001 Gazette  2001/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 22.12.1999 DE 19962170 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: POKORNY, Joachim 78183 Hüfingen (DE) (74) Vertreter: Wagner & Geyer  Gewürzmühlstrasse 5 D-80538 München D-80538 München (DE)