(19)

(11)

EP 1 240 671 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.09.2002  Patentblatt  2002/38 (21) Anmeldenummer: 00985076.9 (22) Anmeldetag:  21.11.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/737, H01L 29/732 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0011/591 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0103/9274 (31.05.2001 Gazette  2001/22)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 26.11.1999 DE 19957113 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: KLEIN, Wolfgang 85604 Zorneding (DE) (74) Vertreter: Zimmermann & Partner  Postfach 33 09 20 80069 München 80069 München (DE)