(19)
(11) EP 1 242 648 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.09.2002  Patentblatt  2002/39

(21) Anmeldenummer: 00989833.9

(22) Anmeldetag:  07.12.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/509, C23C 16/455
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0004/353
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/4539 (21.06.2001 Gazette  2001/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 14.12.1999 DE 19960092

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • FORGET, Jeanne
    Mountain View, CA 94041 (US)
  • VOIGT, Johannes
    71229 Leonberg (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSVERFAHREN