(19)
(11) EP 1 243 022 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.02.2002

(43) Veröffentlichungstag:
25.09.2002  Patentblatt  2002/39

(21) Anmeldenummer: 00993458.9

(22) Anmeldetag:  05.12.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/316, H01L 21/02, G01J 5/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0004/320
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/5151 (21.06.2001 Gazette  2001/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 18.12.1999 DE 19961180

(71) Anmelder: DaimlerChrysler AG
70567 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BEHAMMER, Dag
    89079 Ulm (DE)

   


(54) DÜNNSCHICHTWIDERSTAND MIT HOHEM TEMPERATURKOEFFIZIENTEN ALS PASSIVES HALBLEITERBAUELEMENT FÜR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN