(19)

(11)

EP 1 244 930 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.10.2002  Patentblatt  2002/40 (21) Anmeldenummer: 01900026.4 (22) Anmeldetag:  02.01.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 26/02 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0100/007 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0105/0175 (12.07.2001 Gazette  2001/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 07.01.2000 DE 10000483 (71) Anmelder: INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GmbH 55129 Mainz-Hechtsheim (DE)	(72) Erfinder: SIGLOCH, Susanne 55129 Mainz (DE) NEUMEIER, Michel 66399 Mandelbachtal (DE) HOSSFELD, Jens 61191 Rosbach v. d. H. (DE) (74) Vertreter: Görz, Ingo et al Müller Hoffmann & Partner,Patentanwälte,Innere Wiener Strasse 17 81667 München 81667 München (DE)