(19)
(11) EP 1 244 937 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
06.12.2001

(43) Veröffentlichungstag:
02.10.2002  Patentblatt  2002/40

(21) Anmeldenummer: 00989795.0

(22) Anmeldetag:  22.11.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G03F 1/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0004/136
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/0868 (07.06.2001 Gazette  2001/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 30.11.1999 DE 19957542

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FRIEDRICH, Christoph
    80637 München (DE)
  • HEISSMEIER, Michael
    91058 Erlangen (DE)
  • MOUKARA, Molela
    81379 München (DE)
  • GRIESINGER, Uwe
    81739 München (DE)
  • LUDWIG, Burkhard
    81379 München (DE)
  • PFORR, Rainer
    01108 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Müller - Hoffmann & Partner 
Patentanwälte,Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) ALTERNIERENDE PHASENMASKE