(19)
(11) EP 1 247 141 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.10.2002  Patentblatt  2002/41

(21) Anmeldenummer: 00993343.3

(22) Anmeldetag:  27.11.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/004, G03F 7/039, G03F 7/40, G03F 7/075
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0004/237
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/2860 (14.06.2001 Gazette  2001/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 07.12.1999 DE 19958966

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ELIAN, Klaus
    91056 Erlangen (DE)
  • HIEN, Stefan
    Austin, TX 78741-6499 (US)
  • RICHTER, Ernst
    91058 Erlangen (DE)
  • SEBALD, Michael
    91085 Weisendorf (DE)

(74) Vertreter: Müller - Hoffmann & Partner 
Patentanwälte,Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) ERZEUGUNG VON RESISTSTRUKTUREN