(19)

(11)

EP 1 247 291 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.10.2002  Patentblatt  2002/41 (21) Anmeldenummer: 00983207.2 (22) Anmeldetag:  02.12.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0012/145 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0104/6995 (28.06.2001 Gazette  2001/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 22.12.1999 DE 19962169 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: MARSCHNER, Wolfgang 79227 Schallstadt (DE) MÜLLER, Uwe 01239 Dresden (DE) (74) Vertreter: Wagner & Geyer  Gewürzmühlstrasse 5 D-80538 München D-80538 München (DE)