(19)
(11) EP 1 250 471 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.10.2002  Patentblatt  2002/43

(21) Anmeldenummer: 01900067.8

(22) Anmeldetag:  12.01.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/35, C23C 14/56
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH0100/020
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0105/3561 (26.07.2001 Gazette  2001/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 18.01.2000 CH 91002000

(71) Anmelder: Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
9496 Balzers (LI)

(72) Erfinder:
  • DUBS, Martin
    CH-7304 Maienfeld (CH)
  • SCHERTLER, Roman
    A-6922 Wolfurt (AT)

(74) Vertreter: Troesch, Jacques J., Dr. sc. nat. 
Troesch Scheidegger Werner AG,Schwäntenmos 14
8126 Zumikon
8126 Zumikon (CH)

   


(54) SPUTTERKAMMER SOWIE VAKUUMTRANSPORTKAMMER UND VAKUUMBEHANDLUNGSANLAGEN MIT SOLCHEN KAMMERN