(19)
(11) EP 1 250 617 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.10.2002  Patentblatt  2002/43

(21) Anmeldenummer: 00993541.2

(22) Anmeldetag:  29.11.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 6/12, H01L 21/3063
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0011/932
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/6724 (28.06.2001 Gazette  2001/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 22.12.1999 DE 19961970

(71) Anmelder: Deutsche Telekom AG
53113 Bonn (DE)

(72) Erfinder:
  • KOOPS, Hans, W., P.
    64372 Ober-Ramstadt (DE)
  • TIGINYANU, Ivan, M.
    MD-2028 Chisinau (MD)

   


(54) ANORDNUNG ZUR HERSTELLUNG OPTISCHER SCHALTUNGEN DURCH ÄTZUNG AUS HALBLEITERMATERIAL