(19)
(11) EP 1 250 710 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.10.2002  Patentblatt  2002/43

(21) Anmeldenummer: 01901179.0

(22) Anmeldetag:  19.01.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0100/607
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0105/6064 (02.08.2001 Gazette  2001/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 28.01.2000 DE 10003639

(71) Anmelder: STEAG RTP Systems GmbH
89160 Dornstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • KREISER, Uwe
    89081 Ulm (DE)
  • WEBER, Karsten
    71397 Leutenbach (DE)
  • LERCH, Wilfried
    89160 Dornstadt (DE)
  • GRANDY, Michael
    89250 Senden (DE)
  • SCHMID, Patrick
    89160 Dornstadt (DE)
  • NIESS, Jürgen
    89567 Sontheim (DE)
  • ALTUG, Olgun
    89075 Ulm (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Gewürzmühlstrasse 5
D-80538 München
D-80538 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM THERMISCHEN BEHANDELN VON SUBSTRATEN