(19)
(11) EP 1 252 365 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.10.2002  Patentblatt  2002/44

(21) Anmeldenummer: 00993268.2

(22) Anmeldetag:  25.11.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/513, C23C 4/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0004/207
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0104/0543 (07.06.2001 Gazette  2001/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 04.12.1999 DE 19958474

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • GROSSE, Stefan
    70839 Gerlingen (DE)
  • VOIGT, Johannes
    71229 Leonberg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON FUNKTIONSSCHICHTEN MIT EINER PLASMASTRAHLQUELLE