(19)

(11)

EP 1 252 446 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 30.10.2002  Patentblatt  2002/44 (21) Anmeldenummer: 00988779.5 (22) Anmeldetag:  09.12.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 29/08, F04D 19/04, F04D 29/10, F04D 29/12 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0012/469 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0105/7403 (09.08.2001 Gazette  2001/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 01.02.2000 DE 10004263 (71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: ENGLÄNDER, Heinrich 52441 Linnich (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys.  Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE)