(19)

(11)

EP 1 252 652 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 30.10.2002  Patentblatt  2002/44 (21) Anmeldenummer: 00904853.9 (22) Anmeldetag:  25.01.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/66, G01N 21/00, G01N 21/25 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0000/249 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0105/6072 (02.08.2001 Gazette  2001/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE) Fraunhofer-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. 80636 München (DE)	(72) Erfinder: BELL, Ferdinand D-80336 München (DE) KNOBLOCH, Dirk D-81669 München (DE) ZIMPEL, Jan D-01219 Dresden (DE) VOIGTLÄNDER, Knut D-01259 Dresden (DE) (74) Vertreter: Ginzel, Christian et al Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20 80069 München 80069 München (DE)