(19)
(11) EP 1 254 484 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.02.2002

(43) Veröffentlichungstag:
06.11.2002  Patentblatt  2002/45

(21) Anmeldenummer: 01919125.3

(22) Anmeldetag:  02.02.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/08, G03F 7/09, H03H 3/08
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/405
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0105/9853 (16.08.2001 Gazette  2001/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 09.02.2000 DE 10005596

(71) Anmelder: EPCOS AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PAHL, Wolfgang
    80336 München (DE)
  • TRAUSCH, Günter
    81477 München (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) PIEZOELEKTRISCHES SUBSTRATMATERIAL MIT ERHÖHTER BRUCHFESTIGKEIT UND HERSTELLUNGSVERFAHREN