(19)

(11)

EP 1 256 131 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.11.2002  Patentblatt  2002/46 (21) Anmeldenummer: 01913532.6 (22) Anmeldetag:  25.01.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/495, H01L 25/10 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0100/283 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0105/9840 (16.08.2001 Gazette  2001/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 14.02.2000 DE 10006445 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: WÖRZ, Andreas 93309 Kelheim (DE) (74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer  Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)